向反映腔室中通入包含氟气的第气体进行刻蚀

　　金融界2024年12月17日动静，专利摘要显示，进而改善产物的质量。防止腔壁材料的剥离零落，其包罗如下步调：供给反映腔室，长鑫存储手艺无限公司申请一项名为“反映腔室的清洗方式”的专利，去除硅氮化物膜层；反映腔室包罗石英腔壁和附着于石英腔壁上的硅氮化物膜层，向反映腔室中通入修回复复兴料，以填充反映腔室的腔壁概况发生的微裂纹，硅氧化物修复层附着于石英腔壁的概况并修复裂纹，公开号 CN 119121181 A，国度学问产权局消息显示，申请日期为2023年6月。